清洗效果好，清洁度高且全部工件清洁度一致。 清洗速度快，提高生产效率，不须人手接触清洗液，安全可靠。 对深孔、细缝和工件隐蔽处亦可清洗干净。
对工件表面无损伤，节省溶剂、热能、工作场地和人工。
超声波清洗方式超过一般以的常规清洗方法，特别是工件的表面比较复杂，象一些表面凹凸不平，有盲孔的机械零部件，一些特别小而对清洁度有较高要求的产品如：钟表和精密机械的零件，电子元器件，电路板组件等，使用超声波清洗都能达到很理想的效果。
超声波清洗的作用机理主要有以下几个方面：因空化泡破灭时产生强大的冲击波，污垢层的一部分在冲击波作用下被剥离下来、分散、乳化、脱落。因为空化现象产生的气泡，由冲击形成的污垢层与表层间的间隙和空隙渗透，由于这种小气泡和声压同步膨胀，收缩，象剥皮一样的物理力反复作用于污垢层，污垢层一层层被剥离，气泡继续向里渗透，直到污垢层被完全剥离。这是空化二次效应。超声波清洗中清洗液超声振动对污垢的冲击。超声加速化学清洗剂对污垢的溶解过程，化学力与物理力相结合，加速清洗过程。
超声波清洗工艺要求：
不同的清洗物体工序应有不同的清洗工艺，从整体流程看，可分为四道工序：洗涤、漂洗、脱水、干燥。
超声波洗涤主要利用有机溶剂和水性洗剂对清洗物品上面的油污、污渍、胶、蜡、防霉剂等的高度溶解而达预洗目的，利用洗涤剂表面的湿润、渗透、乳化而综合成的去污作用。漂洗，通过清水对镜片表面的冲洗及超声作用，使洗涤后松散于物体表面的洗涤剂脱离物体表面。
脱水：经漂洗后的物体表面含有大量水分，进入脱水剂中进行脱水，脱水剂多为有机溶剂，和水能充分混溶。
干燥：干燥剂应和脱水剂沸点相近，互溶性好，干燥过程大略为：
(1)干燥剂蒸汽在物体表面冷凝为液体；
(2)干燥剂液体和物体表面的脱水剂形成共沸物；
(3)一部分共沸物形成蒸汽离开物体表面；
(4)一部分共沸物以液体的状态流经物体表面对物体引冲洗作用。经过这些过程后，使镜片表面洁净、干燥。由于使用的脱水剂及干燥剂均为有机溶剂，对环境及操作人员都有或多或少的影响，为了避免这些影响，现代的超声波清洗技术已对干燥工艺进行了改良，使用纯水漂洗，而省略脱水，漂洗后的镜片表面为纯水状态，再由过滤的热风干燥，既为快速、有效地干燥物体，又可避免有机溶剂对环境及工作人员的影响。
超声波清洗工艺应用刚刚起步，它还可推广到产品冷加工的各个工序、主机装配、金属精密件、医疗器械的清洗等方面，所以在还有很大的发展空间。